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廣州潽拓光電科技有限公司維修Varian瓦里安 Turbo-V1K-G渦輪分子泵，varian Turbo-V1K-G瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160，出氣法蘭口KF25，抽速可達到750 L/s，轉速為45500rpm，極限壓力 <1X10-10 mbar，對應的控制器為：varian Turbo-V 1KG。
