日本愛發科ULVAC干法刻蝕機Dry Etching
日本愛發科ULVAC干法刻蝕機Dry Etching
產品價格:¥0(人民幣)
  • 規格:NE
  • 發貨地:上海
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    郵編:201619

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    商品詳情
      應用領域:IC,MEMS,LED,IGBT,SiC Power Device,LTCC 

      設備特點: 

      1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma 

      -搭載ISM(有磁場ICP)Plasma源。ULVAC專利。 

      2、為了保證再現性、穩定性使用了key技術 

      -STAR電極。ULVAC專利。 

      3、優秀的基板溫度控制 

      -并用了He導入的ESC式、machine zipper式基板固定。 

      4、簡單且快速的維護-減輕了維護負荷的維護機構。 

      5、生產性、處理性能向上-300mm托盤,7層Cassette裝備。
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  • 0571-87774297  
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