BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B
BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B
產(chǎn)品價(jià)格:(人民幣)
  • 規(guī)格:TM3B
  • 發(fā)貨地:深圳
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1臺
  • 免費(fèi)會員
    會員級別:試用會員
    認(rèn)證類型:企業(yè)認(rèn)證
    企業(yè)證件:通過認(rèn)證

    商鋪名稱:深圳市阿萊思斯科技有限公司

    聯(lián)系人:黃小姐(小姐)

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    郵編:518000

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    商品詳情

      產(chǎn)品應(yīng)用

      微小領(lǐng)域(微米等級)、納米薄膜、Sic(單晶體、多晶體)、AIN等的測量。


      熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢:

      ? 熱物性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備;

      ? 可以通過點(diǎn)、線、面測量樣品的熱物性;

      ? 可測量微米等級的熱物性值的分布;

      ? 全球首個(gè)非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設(shè)備;

      ? 檢測光點(diǎn)徑3μm、高分辨率來測量微小領(lǐng)域的熱物性(點(diǎn)、線、面  測量);

      ? 可改變深度范圍進(jìn)行測量,從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量;

      ? 基板上的樣品也可測量;

      ? 激光非接觸式測量;

      ? 可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。

      主要規(guī)格


       名稱/商品名 

         熱物性顯微鏡/Thermal Microscope

       測量模式

         熱物理性分布測量 (1次元?2次元?1點(diǎn))

       測量項(xiàng)目  

         熱滲透率、(熱擴(kuò)散率)、(熱傳導(dǎo)率)

       檢測光點(diǎn)徑

         3μm

       1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間

         10

       測量對象薄膜

         厚度 數(shù)百nm~數(shù)十μm

       重復(fù)精度

         耐熱玻璃、硅的熱滲透率±10%以內(nèi)

       樣品

         ?樣品支架 30mm×30mm,厚度5mm,樣品表面的鏡面需要研磨

         ?板狀樣品30mm×30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi),樣品表面需Mo濺鍍 

       使用溫度范圍

         24℃±1℃(根據(jù)設(shè)備內(nèi)部溫度感應(yīng)器)

       平臺移動距離

         ?X軸方向20mm  ?方向20mm   ?方向10mm

       加熱用激光

         半導(dǎo)體激光波長:808nm

       檢測用激光

         半導(dǎo)體激光波長658nm

       電源

         AC 100V~1.5kVA

       標(biāo)準(zhǔn)配件

         樣品支架、基準(zhǔn)樣品

       *選項(xiàng)

         光學(xué)平臺、空調(diào)機(jī)、空調(diào)用booth、spatter裝置

       本體

         外形尺寸:730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量:80.0Kg

       電源箱

         外形尺寸:620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量:26.4Kg


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