LCS專為晶圓和平面基片的半自動(dòng)旋涂和開發(fā)而設(shè)計(jì)，將是試點(diǎn)項(xiàng)目、研究所和研發(fā)的最佳選擇。 它保證了高均勻性和可重復(fù)性以及簡(jiǎn)單的操作和維護(hù)。 它可以處理最大 150 毫米的晶圓或最大 125x125 毫米的方形基片。

為了與試劑等化學(xué)品相兼容，腔體材質(zhì)是由 POM、陽極氧化鋁、聚丙烯、不銹鋼或 PTFE 制成。

旋涂工藝程序通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以編寫多達(dá) 20 個(gè)步驟的 50 個(gè)程序段。每一步可設(shè)置不同的速度、加速度和時(shí)間參數(shù)。

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選配項(xiàng)：

·背面沖洗 (BSR)

·晶圓去邊?(EBR)

·氣動(dòng)注射器分配系統(tǒng)

·電動(dòng)注射器分配系統(tǒng)

·帶數(shù)字儀表和壓力控制的加壓瓶分配系統(tǒng)

·各種真空或機(jī)械托盤

·晶圓對(duì)準(zhǔn)工具

·腔體材質(zhì)由陽極氧化鋁、聚丙烯或 PTFE 制成

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特征：

·擁有觸摸屏界面

·多達(dá) 5 條試劑管路

·具有可編程分配高度的電動(dòng)臂

·占地面積小 600x625 毫米

·自動(dòng)透明蓋

·多種尺寸旋涂托盤

·托盤更換快速簡(jiǎn)便

·處理腔室易清洗

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技術(shù)參數(shù)：

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