產品特點（部分）
l 測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以內、采集周期為200ms，能準確測量晶圓溫廠均勻性；
l 使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測試記錄完整數 據，并能自動生成測試報告，
支持U盤、藍牙、無線網 絡等多種方式導出數據和報告；
l 顯示直觀 最多支持20路實時測量(20路以上可定制)，顯示實時點位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實時觀察各點溫度變化；
l 功能強大 10000條歷史數據存儲量，能以圖表形式調閱歷史溫度和均勻性數據。
可做同一臺設備不同時間段、以及不同設備同一配方的數據對比；
l 便攜易維護 便攜一體化設計，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。

應用功能
l 半導體制造工藝調校
l RTP設備的測試、驗證
l TC-Wafer的測試、驗證
l 相 關 晶 圓 熱 處 理 設 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;