Tergeo Pro大尺寸臺(tái)式等離子清洗機(jī)

Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)將腔室直徑增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓，容納一兩個(gè) 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻電源的頻率為 13.56MHz，提供比 KHz 射頻等離子系統(tǒng)更高的等離子生成效率。Tergeo 等離子系統(tǒng)不僅可以調(diào)整射頻功率，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子。脈沖比可以從 調(diào)整到小于 1。夸脫室壁結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)外部電容耦合射頻電極設(shè)計(jì)。

以下是典型應(yīng)用案例：

1）光刻膠灰化、除渣和硅片清洗；

2）在引線鍵合、倒裝芯片底部填充、PCB去污之前清潔芯片；

3）生物醫(yī)用涂層前表面處理，提高醫(yī)用植入物的親水性；

4）環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)元件、玻璃、光纖頭和基板清潔；

5）PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室；

6）改善金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合；

7）改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合；

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.大型樣品室

針對(duì)大尺寸基片而研發(fā)設(shè)計(jì)，腔室足夠大，可容納8英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè) 25片/50片 6"/4"晶圓 的石英舟。

2.等離子傳感器

可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài)，并為用戶提供不同配方條件下等離子強(qiáng)度的定量反饋，實(shí)時(shí)顯示在液晶觸摸屏顯示器上。等離子傳感器還可以監(jiān)測(cè)等離子灰化過(guò)程的進(jìn)程并用作終點(diǎn)指示器。

3.連續(xù)或脈沖等離子

脈沖比可以從 調(diào)整到小于1。改變等離子體強(qiáng)度超過(guò)幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

4.過(guò)程控制功能

壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計(jì)、等離子強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

技術(shù)參數(shù)：

1、艙體大小：內(nèi)徑230mm，外徑240mm，深度340mm，可容納一個(gè)8英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè)?25片/50片?6"/4"晶圓的石英舟。

2、艙體材質(zhì)：標(biāo)配為高純度圓柱形石英艙。

3、樣品架：5mm厚高純石英板，尺寸寬度220mm?x?長(zhǎng)度280mm。

4、常用氣體：空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮?dú)夂推渌�混合氣體。

5、氣路控制：標(biāo)配兩路MFC；zui多可選配三路MFC，0~100sccm之間 控制氣體流量。

6、控制系統(tǒng)：7英寸電阻觸摸屏操作界面。

7、程序控制：可編程，總共有20個(gè)程序，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟。

8、射頻頻率：13.56MHz。

9、射頻功率：標(biāo)配0~150W，以1瓦間隔連續(xù)可調(diào)，自動(dòng)阻抗匹配；可選配300W或500W。

10、等離子源:：等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)定量檢測(cè)等離子狀態(tài)；電阻耦合電離方式?。

11、電極設(shè)計(jì)：外置電極設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積，高壓電極不和等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

12、設(shè)備電源：220?V/50Hz。