概括：

涂布系統主要包括供料單元和涂布單元，涂布單元是通過利用精密機械加工所制作的上下模及安裝在上下模間的薄墊片所組成，供料單元由儲料、輸送的注射泵及過濾裝置等組成。系統由涂布模具相對于基片作精確運動,通過控制速率、精密計量和泵送工藝流體，將液體化學材料從上下模之間的縫隙擠出涂布于移動的基板(玻璃、不銹鋼和塑料等)。上形 成薄膜。涂膜厚度可由液體流量與基板移.動速度直接計算，其優點為涂膜均勻性高、可適用的涂料粘度范圍廣、涂布速度快、以及可制作大面積的涂膜。適用于有機太陽能電池0PV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應用于光學膜(增亮膜、hardcoat、 偏光膜、擴散膜等)、OLED 涂布等。多種規格尺寸可選可定制，多種人性化配置可選:加熱臺、特殊氣體吹淋系統、多尺寸刀頭，多規格墊片等,滿足客戶多種需求,為客戶量身定制高精密專業設備。

產品簡介

● 設備整體采用兩級調整確保大面積平臺水平度，涂布平臺有單獨的調平機構，平臺是否平整作為工藝門檻的第一步相當于地基。

● 涂布刀頭采用專用合金，特殊表面熱處理的進口大尺寸刀頭(自有專利設計技術)，防有機溶劑，防形變。

● Z軸采用伺服電機配合編碼器加光柵尺雙閉環，確保刀頭的位置精度，和刀頭的水平度。

● 集成化注射泵，可聯動控制溶液流速，自動進液，自動除氣，自動管路:清洗(需要配備清洗液，刀頭需拆卸清洗)。

● 涂布平臺運行機構采用直線伺服電機提高平臺穩定性，將工藝中影響的因素減到極致。

● 廢液回收系統，可配合管路清洗進行廢液回收，方便廢液處理。

● 涂布平臺帶有多區域真空吸附功能，基底定位功能，方便基底定位以及涂布過程的固定

●多段式涂布工藝，更好的保證基底首尾膜厚的控制。

技術優勢特點

1.定制化槽模

● 漿料.上料供應穩定，在模頭內部形成均勻穩定的流動狀態。

● 模具內部流道幾何尺寸確保涂膜在寬度方向厚度均勻性。

● 模唇形狀確保涂布液珠穩定性。

2.高寬容度供液系統

● 支持1-2000cps粘度涂液，供液過程保持漿料性質穩定，不發生沉降，粘度、固含量等不變化。

3.高精度伺服系統

● 直線伺服電機驅動的空氣軸承臺確保平穩運行和準確的涂層，走箔穩定，不發生走帶滑動，嚴重抖動和褶皺。

4.完善配套軟件

● 系統參數可視化，直接顯示平臺位置，刀頭高度，狹縫厚度，涂布速度，注液速度，注液量等參數，配合配方存儲功能，保存多組成熟的工藝參數實現良好的工藝重復性。

邁可諾技術有限公司

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