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潔凈室的理想自凈時間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實際的Tr并不再有明顯的減少。末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈室內含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出：(a)室內發(fā)塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。
