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IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
功能豐富的 IC6 提供測量精度
IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多獨(dú)特的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過程的價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程卓越的可重復(fù)性。
功能
典型應(yīng)用
零件號(hào)
規(guī)格
測量性能
頻率分辨率
±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1)
±0.00433 ?
測量頻率范圍
6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)
0.5%
測量周期
0.10 s
多個(gè)測量值平均
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能
Auto Z
yes
自動(dòng)色調(diào)
yes
共沉積
yes (up to 6 sources)
過程配方和數(shù)據(jù)管理
材料計(jì)劃
32
過程層（每個(gè)過程）
200
過程
50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器
yes
數(shù)據(jù)記錄
yes
硬件功能
傳感器 (3)
單
8
雙 / CrystalTwo®
4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®
8
Crystal 12®
8
通用
8
