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產品參數 | |||
---|---|---|---|
品牌 | 歐米伽 | ||
加工定制 | 否 | ||
測量范圍 | 1 | ||
精度等級 | 1 | ||
最大工作壓力 | 1 | ||
適用范圍 | 真空 | ||
產地 | 美國 | ||
可售賣地 | 全國 | ||
類型 | 手持式壓力計 | ||
型號 | 631 |
INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數字皮拉尼技術。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用,結構設計緊湊,適用于半導體系統和標準應用,例如前級真空管。
益處
類型
PSG500 tungsten | PSG500-S tungsten, setpoints | PSG502-S nickel, setpoints | PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs | PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs | ||
測量原則 | thermal conductance according to Pirani | thermal conductance according to Pirani | thermal conductance according to Pirani | thermal conductance according to Pirani | thermal conductance according to Pirani | |
精度 (N2) | ||||||
1 x 10-3… 100 毫巴 | of reading | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 |
5 x 10-4… 1 x 10-3?毫巴 | of reading | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 |
100 … 1000 毫巴 | of reading | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 | ±50 |
可重復性(空氣) | ||||||
1 x 10-3… 100 毫巴 | of reading | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
輸出信號(測量信號) | ||||||
電壓范圍 | V | 0 … 10.3 | 0 … 10.3 | 0 … 10.3 | 0 … 10.3 | 0 … 10.3 |
測量范圍 | V | 1.9 … 10.0 | 1.9 … 10.0 | 1.9 … 10.0 | 1.9 … 10.0 | 1.9 … 10.0 |
測量范圍(空氣、O2、CO、N2) | mbar | 5 x 10-4?to 1000 | 5 x 10-4?to 1000 | 5 x 10-4?to 1000 | 5 x 10-4?to 1000 | 5 x 10-4?to 1000 |
設定點 | ||||||
設定點數量 | 2 | 2 | 2 | 2 | ||
設置范圍 | mbar | ? | 2 x 10-3?… 500 | 2 x 10-3?… 500 | 2 x 10-3?… 500 | 2 x 10-3?… 500 |
滯后 | of reading | ? | 10 above lower threshold | 10 above lower threshold | 10 above lower threshold | 10 above lower threshold |
繼電器觸點 | V (dc)? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?A (dc) | ? | 30 | 30 | 30 | 30 |
繼電器觸點: 轉換時間 | ms | ? | <20 | <20 | <20 | <20 |
電源電壓 | ||||||
真空計上 | V (dc) | 14 … 30 | 14 … 30 | 14 … 30 | 14 … 30 | 14 … 30 |
波紋 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
電壓與壓強 | logarithmic 1.286 Volts per decade | logarithmic 1.286 Volts per decade | logarithmic 1.286 Volts per decade | logarithmic 1.286 Volts per decade | logarithmic 1.286 Volts per decade | |
內部容積 | ||||||
DN 16 ISO-KF,DN 16 CF-R,7/16-20 UNF | cm3 (in.3) | 1.5 (0.092) | 1.5 (0.092) | 1.5 (0.092) | 1.5 (0.092) | 1.5 (0.092) |
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管 | cm3 (in.3) | 10 (0.61) | 10 (0.61) | 10 (0.61) | 10 (0.61) | 10 (0.61) |
1/8'' NPT,4 VCR,8 VCR,1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 2 (0.122) | 2 (0.122) | 2 (0.122) | 2 (0.122) | 2 (0.122) |
容許溫度 | ||||||
運行 | °C | 5 … 60 | 5 … 60 | 5 … 60 | 5 … 60 | 5 … 60 |
真空連接 (1) | °C | 80 / 250?(2) | 80 / 250?(2) | 80 / 250?(2) | 80 / 250?(2) | 80 / 250?(2) |
貯存 | °C | -20 … 65 | -20 … 65 | -20 … 65 | -20 … 65 | -20 … 65 |
重量 | ||||||
DN 16 ISO-KF,7/16-20 UNF | g | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
DN 16 CF-R,4 VCR | g | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 |
1/8'' NPT,1/2'' 管 | g | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 |
8 VCR,DN 16 ISO-KF 長管 | g | 130 | 130 | 130 | 130 | 130 |
DN 16 CF-R 長管 | g | 140 | 140 | 140 | 140 | 140 |
錯誤信號 | V | 0 … 0.5 (filament rupture) | 0 … 0.5 (filament rupture) | 0 … 0.5 (filament rupture) | 0 … 0.5 (filament rupture) | 0 … 0.5 (filament rupture) |
輸出電阻 | ? | 2 x 4.7 | 2 x 4.7 | 2 x 4.7 | 2 x 4.7 | 2 x 4.7 |
*小負載電阻 | k? | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
反應時間 | ms | 80 | 80 | 80 | 80 | 80 |
真空計識別 | k? | 27.0, referenced to supply common | 27.0, referenced to supply common | 27.0, referenced to supply common | 27.0, referenced to supply common | 27.0, referenced to supply common |
調整 | one tactile switch for ATM and HV adjustment | one tactile switch for ATM and HV adjustment | one tactile switch for ATM and HV adjustment | one tactile switch for ATM and HV adjustment | one tactile switch for ATM and HV adjustment | |
電流消耗 | mA | <500 (max. starting current) | <500 (max. starting current) | <500
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