超薄AAO模板

超薄AAO（Anodic Aluminum Oxide）模板為雙通結構，厚度僅為幾十到幾百納米，廣泛應用于納米點陣列、納米線陣列等的制備以及襯底表面圖案化處理等。超薄AAO模板孔徑均一，孔排列短程有序，氧化鋁的材質使其在可見光波段是透明的，而且是電絕緣的。相對于其它圖形化納米結構制備手段，超薄AAO模板的獨特優勢在于可以輕易地獲得平方厘米的尺度低至十納米級的結構，而且成本低廉。

圖1. （上）超薄AAO模板產品結構示意圖；（下）一片較大面積的超薄AAO模板實物圖

圖2. 小面積超薄AAO模板實物圖

           超薄AAO模板的一個缺點就是操作困難，這是因為AAO厚度小于1微米時不能自支撐，而且非常脆弱，使用非常不方便。我們將超薄AAO模板表面涂覆一層PMMA作支撐，如圖1所示，可以非常方便地取放、裁剪、轉移到任意目標襯底之上。較小面積的超薄AAO模板的實物圖如圖2所示。包裝盒內膜的PMMA面為朝下放置。

圖3. 超薄AAO模板轉移方法示意圖

        超薄AAO模板一般需要轉移到目標襯底之上使用，圖3給出了帶有PMMA支撐層的超薄AAO的一種轉移方法。首先將目標基底清洗干凈，最好進行親水處理以使AAO將與基底貼合更加均勻緊密。親水處理可以采用小功率氧氣（或空氣）plasma清洗處理，或采用紫外光表面處理機處理。然后將PMMA/AAO剪裁成所需形狀和大小放置于襯底之上，在膜邊緣滴加少許丙酮或乙醇可以使PMMA部分溶解從而貼于襯底表面。將其放置于丙酮中即可除去PMMA支撐層。除去PMMA之后，由于超薄AAO很脆弱，請勿碰觸膜表面，以免AAO破損。

圖4. 超薄AAO（左）SEM俯視圖和（右）30°視圖

圖5. （左）轉移到載玻片表面，（右）轉移到石英玻璃表面

        圖4為轉移到硅基底上的超薄AAO模板的SEM圖。圖5為轉移到普通玻璃以及適應玻璃表面的超薄AAO模板的實物照片。可以看到超薄與基底貼合緊密，透明度很高。采用類似方法，可以方便地將大面積的超薄AAO轉移到Si、藍寶石、SiC、ZnO、GaN、ITO、FTO、PDMS、PET等其它基底表面。以超薄AAO為掩膜版，可以進行金屬或半導體納米材料的沉積，從而獲得納米材料點陣，可以以金屬納米點陣為催化劑生長納米線陣列。可以直接以AAO為掩膜進行基底的刻蝕處理。更多應用實例參見：

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