空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。在第一次世界大戰(zhàn)期間，由于各種化學(xué)毒劑的使用，以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應(yīng)運(yùn)而生。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代，HEPA過濾器問世；70年代，采用微細(xì)玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達(dá)99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發(fā)現(xiàn)HEPA過濾器存在著嚴(yán)重的問題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA過濾器。各國仍在努力研究，估計不久就會出現(xiàn)更先進(jìn)的空氣過濾器。