OTFC- 1550光馳機(年份:2015. 11）包上門安裝培訓，公司還有各種先進濺射和蒸鍍機，承接各種高性能中長波紅外光學窗口、各波段濾光片、各種光電子元器件產品以及定制化服務

真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架轉速：10rpm to 30rpm (可變)

光學膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光學膜厚監控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式/透射式

水晶式膜厚計：XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發源：2套日本電子16P雙槍

離子源：17寸光馳RF離子源

排氣系統：機械泵2個，擴散泵Polycold (或2個冷凝泵)275機械泵+愛德華配套羅茨泵  

性能 

達到壓力：7. 0X10-5Pa以下

排氣時間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)

基板溫度：高: 350C

工作條件

設備尺寸：藥500m00) x 7200m(D)X53700mm

電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA

水流量：180升/分以上

空氣壓力：0.5MPa以上

重量：約11000kg

詳情 楊總監  13723521401  18103045976