單晶爐氬氣質量流量控制器美國ALICAT艾里卡特工作條件

• 兼容氣體：98種（PCU和PCUW系列）或130（PCUS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：145 psig/160 psia（PCU和PCUS系列）或者45 psig/60 psia（PCUW系列）
• 差壓（進口至出口）：75 psid（PCU和PCUS系列）或者15 psid（PCUW系列）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

單晶爐氬氣質量流量控制器美國ALICAT艾里卡特包裝清單

• PCU系列便攜式氣體流量校準儀（內部安裝多達三臺高精度質量流量計）
• 各流量計顯示屏下方安裝的推動連接接頭
• USB A-B線纜（用于與電腦連接）
• 雙頭9針D-sub模擬接口串行線纜（用于與多點式集線盒相連接）
• 通用電源
• Flow Vision SC軟件
• 各臺流量計的NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書