型號(hào)變體
- 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號(hào)（MCE系列）
- 閥門內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
- 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見下文）
另有：
- 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)(MC系列)
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MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。
半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器
型號(hào)變體
另有：
艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
