日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計基于MODEL 3660系列開發的緊湊型低成本質量流量計。
它是作為大學和研究機構研發應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發的。
- 配備流量傳感器，采用改進的恒流溫差檢測方法，實現高速響應
- 我們不選擇緊湊的身體設置的地方
尺寸圖 日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
標準規格 日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
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流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） |
10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 響應速度 | 在2秒內 | 在3秒內 |
| 準確性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 溫度系數 | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再現性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 |
+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA |
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接頭 （體型） |
標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
標準3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 約800g | 約1000g |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。
