壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式，可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的超精密減壓閥。

• 無塵規格

• 因為部品是不銹鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產生的雜質非常少。

• 歧管安裝對應

• 歧管連接配管可能。

• 排氣口裝備

• 因為排氣孔，溢流孔，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。

• 高精度

• 可以實現感度0.1%F.S.,反復再現性±0.1%F.S.的高精度控制。