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LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡,可以實現從50倍到最高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進行納米級觀測。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,先進光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發現觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC)
放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速,正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機,所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優異的性能,所以能夠高效輸出最佳結果。
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發揮了光學觀察的特長, 除了最常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡, 實現了優異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現出光學顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實時觀察納米級的微小凹凸。
OLS4500在電動物鏡轉換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實時觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標點對準該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
使用探針顯微鏡開始觀察之前, 可以在向導畫面上設置所需的條件, 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經驗較少的操作者也能安心完成操作。
OLS4500采用了裝在電動物鏡轉換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端,所以切換SPM觀察時不會丟失觀察目標點。不僅如此,新開發的小型SPM測頭提高了剛性,所以與傳統產品相比,減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。
使用向導功能, 可以觀察時進一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標指針設置放大范圍并掃描, 就可以獲取所需的SPM影像。可以自由設置掃描范圍, 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。
OLS4500能夠根據您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像,并以CSV格式輸出測量結果。OLS4500有以下分析功能。
控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時, 使微懸臂進行靜態掃描, 在影像中呈現樣品的高度。還可以進行彎曲測量。
使微懸臂在共振頻率附近振動, 并控制Z方向的距離使振幅恒定, 從而在影像中呈現樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。
在動態模式的掃描中, 檢測出微懸臂振動的相位延遲。可以在影像中呈現樣品表面的物性差。
對樣品施加偏置電壓,檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外,還可以進行I/V測量。
使用導電性微懸臂并施加交流電壓, 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電, 從而在影像中呈現樣品表面的電位。也稱作KFM(Kelvin Force Microscope)。
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進行掃描, 檢測出振動的微懸臂的相位延遲, 從而在影像中呈現樣品表面的磁力信息。也稱作MFM(Magnetic Force Microscope)。
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學系統(能最大限度發揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
由于采用405 nm的短波長激光和更高數值孔徑的物鏡, OLS4500達到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨有的亮度檢測技術, OLS4500可以分辨出亞微米到數百微米范圍內的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復性”(多次測量值的偏差程度)的性能。
高倍率影像容易使視場范圍變小,而通過設置,OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數據。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進行3D顯示或3D測量。
*該功能為選項功能。
OLS4500為您帶來最新的解決方案
實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。
電動物鏡轉換器切換倍率和觀察方法
涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發現觀察對象。
觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
一體機的機型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應對新樣品。
OLS4500實現了無縫觀察和測量
【發現】可以迅速發現觀察對象
使用光學顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
使用激光顯微鏡,可以觀察到光學顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
【接近】迅速發現觀察對象,在SPM上正確完成觀察
實現了無縫觀察,不會丟失觀察對象
不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向導功能
【納米級測量】簡單操作,可以迅速獲得測量結果
新開發的小型SPM測頭, 減少了影像瑕疵
新開發的小型SPM測頭
使用向導功能,自由放大SPM影像
向導功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍
優異的分析功能, 應對各種測量目的
曲率測量(硬盤的傷痕)
跟從向導畫面的指示, 可輕松操作的6種SPM測量模式
接觸模式
金屬薄膜
動態模式
鋁合金表面
相位模式
高分子薄膜
電流模式
Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像(左)中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像(右)中顯示 為藍色(電流不經過的部分)。通過上圖,可以明確電路板中也存在電流不經過的部分。
表面電位模式(KFM)
磁帶樣品。在電位影像中可以看出數百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布,可以認為
是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。
磁力模式(MFM)
硬盤表面樣品。可以觀察到磁力信息。
裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應對多種樣品
輕松檢測85°尖銳角
LEXT 專用物鏡
有尖銳角的樣品(剃刀)
高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓
從大范圍拼接影像中指定目標區域
主機 規格
LSM部分
光源、檢出系統
光源:405 nm半導體激光、檢出系統:光電倍增管
總倍率
108~17,280X
變焦
光學變焦:1~8X
測量
平面測量
重復性
100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm
正確性
測量值的±2%以內
高度測量
方式
物鏡轉換器上下驅動方式
行程
10mm
內置比例尺
0.8nm
移動分辨率
10nm
顯示分辨率
1nm
重復性
100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm
正確性
0.2+L/100 μm以下(L=測量長度)
彩色觀察部分
光源、檢出系統
光源:白色LED、檢出系統:1/1.8英寸200萬像素單片CCD
變焦
碼變焦:1~8X
物鏡轉換器
6孔電動物鏡轉換器
微分干涉單元
微分干涉滑片:U-DICR、內置偏振光片單元
物鏡
明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X
Z對焦部分行程
76 mm
XY載物臺
100 x 100 mm(電動載物臺)
SPM部分
運行模式
接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*
位移檢出系統
光杠桿法
光源
659 nm半導體激光
檢出設備
光電檢測器
最大掃描范圍
X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm
安裝微懸臂
在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調整。
系統
總重量
約440 kg(不包含電腦桌)
I額定輸入
100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz