光譜共焦位移傳感器具有超強的角度特性，最大可測傾角87°，由于其同軸共焦原理，所以無像差干擾問題，即使被測物有過大傾角也不會影響測量精度。
鏡面、透明、半透明體表面也可以有超強的角度特性，使用光譜共焦位移傳感器，無需嚴格的角度調整就可以進行高精度測量。即使被測物在運動過程中的跳動也不會對測量造成過大的影響。

光譜共焦位移傳感器可高精度測量透明體厚度，并可同時測量不同層面位置值。透明體上下表面均會有一個焦點存在，獲取上表面和下表面位置值，上下表面的位置差即是透明體的厚度值。
 
透明體的平整度和厚度可以同時測量。以往玻璃、薄膜行業測量厚度都是用卡尺人工抽樣檢測，如果是較大的基板就無法任意檢測各個位置，并且用卡尺測受人為影響非常嚴重。非接觸式光學測量，可以在線測量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。

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