光譜共焦位移傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測(cè)物存在傾斜或曲翹，也可以進(jìn)行高精度的測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)不會(huì)改變。而傳統(tǒng)的三角測(cè)距法，隨著高度的不同，測(cè)量位置或者光斑大小會(huì)發(fā)生改變。

透明體的平整度和厚度可以同時(shí)測(cè)量。以往玻璃、薄膜行業(yè)測(cè)量厚度都是用卡尺人工抽樣檢測(cè)，如果是較大的基板就無(wú)法任意檢測(cè)各個(gè)位置，并且用卡尺測(cè)受人為影響非常嚴(yán)重。非接觸式光學(xué)測(cè)量，可以在線測(cè)量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。

光譜共焦位移傳感器典型應(yīng)用：

微位移振動(dòng)測(cè)量 壓電驅(qū)動(dòng)器微位移振動(dòng)測(cè)量，磁致伸縮位移，生物力學(xué)形變

精確定位 LAMOST光纖定位，平面的定位等

旋轉(zhuǎn)體跳動(dòng)測(cè)量 機(jī)床主軸跳動(dòng) 球面鏡旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)等

透明體厚度測(cè)量 玻璃厚度，透鏡厚度，膜厚，水膜厚度等

輪廓/3D形貌測(cè)量透鏡輪廓掃描，磨損量測(cè)量，3D形貌掃描等

厚膜電阻檢測(cè)的應(yīng)用:

厚膜電阻在濕潤(rùn)狀態(tài)下，采用光譜共焦位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)，線速度可達(dá)12mm/s，在自動(dòng)化生產(chǎn)中應(yīng)用可以極大提高效率。

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