晶圓粗糙度表面形貌測量系統WD4000國產半導體檢測設備
晶圓粗糙度表面形貌測量系統WD4000國產半導體檢測設備
產品價格:¥3000000.00(人民幣)
  • 規格:WD4000系列
  • 發貨地:廣東深圳
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 免費會員
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    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:深圳市中圖儀器股份有限公司

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    商品詳情
      產品參數
      是否支持加工定制
      是否進口
      操作方式全自動
      型號WD4000系列
      測量系統1厚度和翹曲度測量系統
      測量系統2三維顯微形貌測量系統
      測量系統3膜厚測量系統
      測量系統4紅外干涉測量系統
      晶圓尺寸4" 、6" 、8" 、 12"
      晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
      最大移動速度500mm/s
      工作臺主體大理石
      隔振臺被動式隔振氣浮墊
      外形尺寸1500×1500×2000mm
      總重量1500kg
      氣源要求0.6MPa; 60L/min
      品牌中圖儀器 CHOTEST











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