8500MM質量流量計

8550MM質量流量計

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-100SLPM

精度

±1.0FS

±1.5FS

有效范圍

2-

5-

重復性

±0.5FS

響應時間

2秒

3秒

耐壓

1.0Mpa

入口壓力

0.5Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90RH(不能結露)

材質

本體SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON，選配NBR或FKM

電氣接口

DB20

模擬信號

0-5V、4-20M輸出

通訊

RS232485可選

LED顯示

瞬時/累計流量、多點報警輸出

供電

24VDC、300mA

管路連接

標配1/4F9

標配3/8F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

約1200g

約1500g

針腳/顏色

定義

1針腳

電源COM

2針腳

電源COM

3針腳

信號COM

4針腳

電源 24VDC

5針腳

電源 24VDC

6針腳

7針腳

模擬信號輸出

8針腳

空

9針腳

空

10針腳

空

11針腳

上限/下限報警輸出

12針腳

集成模擬輸出信號

13針腳

事件報警模式1

14針腳

事件報警模式2

15針腳

事件報警模式3

16針腳