測(cè)量、測(cè)控氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量

美國(guó)ALICATMC20系列質(zhì)量流量控制器

Alicat的LK2系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過(guò)定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥測(cè)量與控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力，還可同時(shí)測(cè)量并顯示氣體溫度。

MC20系列質(zhì)量流量控制器內(nèi)部無(wú)可移動(dòng)組件和熱元件通過(guò)抗振動(dòng)測(cè)試對(duì)安裝方向不敏感。Alicat提供總體的用戶(hù)支持，包括技術(shù)咨詢(xún)

快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和質(zhì)保。

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

標(biāo)準(zhǔn)精度0.8RD 0.2FS、高精度0.4RD 0.2FS

有效范圍0.5-

內(nèi)置90-130條氣體曲線(xiàn)可選

響應(yīng)速度100MS

多種數(shù)字信號(hào)可選

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

性能/參數(shù)

MC20系列質(zhì)量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置90條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(0.8Rd 0.2FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4Rd 0.2FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2FS

漂移(零點(diǎn)/滿(mǎn)量程)

0.02 F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-

響應(yīng)時(shí)間

100毫秒(調(diào)整)

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25oC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門(mén)狀態(tài)

常閉

材質(zhì)