多晶硅烘箱通常由304型鋼薄板構成，箱體內有一供放置試品和工作室，工作室內有試品擱板，試品可置于其上進行干燥，工作室內與箱體外殼有相當厚度的保溫層，中以硅棉或珍珠巖作保溫材料。箱門間有一玻璃門或觀察口，以供觀察作室之情況。箱體內裝有鼓風機，工作室內空氣借鼓風機促成機械對流。開啟排氣閥門可使工作室內之空氣得以更換，獲得干燥效果，溫度用儀表進行自動控溫，控溫儀、繼電器及全部電氣控制設備均裝于箱側控制層內，控制層有側門可以卸下，以備檢察或修理線路時用。 

多晶硅烘箱主要技術參數：

●采用智能程序溫控儀控溫，PID參數自整定，固態繼電器調功，無觸點連續調節，自動完成烘干工藝全過程，能滿足任何固化曲線的要求，操作簡便，性能可靠；精選國內外電氣控制元件，使固化爐的電控部分可靠性達到最優。

●在工藝溫度范圍內實現定時歇式性自動排氣功能(根據用戶要求選配)。

●可選取走紙記錄儀、打印記錄或無紙記錄儀，對工藝全過程實行監控，對干燥、固化結果進行分析。

●根據所烘產品不同的擺放，選用合理的熱風循環方式(頂加熱垂直送風、底加熱水平送風、側加熱垂直送風等)使工作室內溫度更均勻，線圈干燥、固化效果更優。

●另設獨立超溫報警系統，溫度異常時能切斷加熱電源，發出聲光報警。

●可選配低壓照明燈系統一套，門設觀察窗，隨時可觀察工件固化狀況。

●采用密封電熱管加熱，抗氧化、性能穩定、壽命長。

●底部鋪設軌道，可根據所烘產品重量不同選用手動驅動、鈍齒條驅動、輥排驅動、牽引小車驅動等不同臺車驅動方式。

●根據用戶現場使用情況，既可就近控制，多臺固化爐亦可選配計算機集散控制系統，可集中實現多臺固化爐控溫程序的設定、溫度曲線記錄等功能，操作簡單、方便、控制可靠。

●保溫材料采用低導熱系數優質保溫棉，節能效果明顯。

可根據用戶提出的各種技術要求另行設計制造。多晶硅烘箱-多晶硅烘箱-多晶硅烘箱