法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200  A113

規格 1L  5L  20L

法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200  A113

規格 1L  5L  20L

法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200  A113

規格 1L  5L  20L

法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200  A113

規格 1L  5L  20L

英國愛德華BOCEDWARDS真空泵專用油 UL15   UL19  UL70  UL20

規格 1L   4L   20L

德國萊寶LEYBOLD真空泵專用油  N62  GS77  GS32  N62H  LVO100 LVO130 LVO110 VLO120 LVO210 LVO240 LVO260

規格1L  5L  20L

德國普旭BUSCH真空泵專用油  VM100  300SD  VM32  VM68 

規格 1L  5L  20L

德國里其樂/偉力RIETSCHLE真空泵專用油　MULTI-LUBE100  MULTI-LUBE46 

合成油 SUPER-LUBE100

規格1L  5L  20L

愛發科ULVAC真空泵油  ULVoilR-7   ULVoilR-4    SMR-100

規格 1L  5L  20L

法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200

規格 1L  5L  20L

貝克BECKER真空泵油  F O-100  LUBE-M100

規格 1L  5L  20L

半導體工業在硅片加工過程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳氫化合物油(Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒，化學結構不穩定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而導致真空泵出現故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機維修時間的增加，而影響生產效率。而且，碳氫化合物油的可燃性也導致安全隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對于環保方面是非常不利的。總之，許多方面均會導致運行成本的上升。

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