Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0
Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0
產品價格:(人民幣)
  • 規格:Octiv Suite 2.0
  • 發貨地:上海
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1件
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    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:上海歐橋電子科技發展有限公司

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    商品詳情
      Impedans射頻功率計Octiv Suite 2.0
      品牌:Impedans
      型號:Octiv Suite 2.0

      公司介紹:
      Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商,主要提供用于射頻和等離子過程監控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域,包括半導體、真空鍍膜、醫療器械、硬盤和航空航天等。
      Impedans的技術優勢在于其先進的測量方法和高精度的數據采集能力,這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質量的傳感器和測量設備,Impedans在多個工業領域中贏得了良好的聲譽。

      產品介紹:
      Octiv Suite 2.0 VI探頭是市場上*先進的射頻傳感器,用于在線功率和阻抗測量,具有無*比的精度和功能。以1%的真實精度,可以自信地建立腔室間的匹配和過程可重復性。該傳感器專為先進的研發和實時過程監測而設計。它將Octiv Mono的脈沖監測功能和Octiv Poly的諧波頻譜功能與先進的功能相結合,如重建時域RF電壓和電流波形,在數字化過程中使用專有的諧波相位解卷積技術,使離子通量的實時監測成為可能,當與工藝基板串聯安裝時。獨特的是,該傳感器允許過程電極作為平面朗繆爾探針發揮次要作用,從而能夠確定等離子體密度和電子溫度。

      主要特點
      在單個傳感器上選擇5個頻率,同時測量多個頻率。
      通過我們先進的校準方法,50Ω和非50Ω阻抗的精度無*比
      傳感器運行重復性(<0.1%)能夠真實測量等離子體過程漂移。
      單頻和多頻電壓和電流波形顯示。
      離子通量監測能力與蝕刻和沉積速率直接相關。
      諧波相位輸出的基波,端點檢測的關鍵參數。
      所有這些都可用于脈沖射頻,包括時間分辨模式(1微秒分辨率)和脈沖趨勢模式。

      主要優勢和應用
      在高功率下在線,性能相當于網絡分析儀和示波器的組合。
      使用等離子體阻抗和諧波譜分析的高級端點功能。
      以比多元OES端點檢測器更高的靈敏度檢測蝕刻端點(<1%開口面積)。
      離子通量、等離子體密度和電子溫度的實時輸出是可能的(見柏拉圖探針)。
      通過實現故障檢測和早期干預,可以獲得顯著的成本效益。
      USB、以太網、EtherCAT和串行通信協議,具有易于使用的API進行集成。

      相關型號:
      Octiv Mono 2.0
      Octiv Poly 2.0
      Octiv Suite 2.0
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