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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 尺寸 | 125*125*34.5mm | ||
| 厚度 | 34.5mm | ||
| 長度 | 125mm | ||
| 重量 | 1360 g | ||
| 分辨率 | 2 nm | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 運動自由度 | X、Y、Z | ||
| 標稱行程范圍 | XY200，Z100 μm | ||
| 低溫行程范圍 | XY80，Z50 μm | ||
| 空載諧振頻率 | X180/Y180/Z250 Hz | ||
| 帶載 200g 諧振頻率 | X140/Y140/Z200 Hz | ||
| 靜電容量 | XY3.6，Z7.2 μF | ||
| 承載能力 | 700 g | ||
| 特點 | 真空低溫無磁 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 半導體加工 | ||
| 材質 | 鈦 | ||
| 型號 | XD106 | ||
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