超高真空 (UHV) 光柵

特性：

? 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

? 殘余氣體分析 (RGA) 經驗證不會污染真空環境

? 120 °C烘焙溫度

? 非接觸開放式光學系統提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

? 無氣密孔

? 高精度直線光柵和圓光柵系列

對于許多工業加工過程而言，如果環境中存在大量的空氣或其他氣體，則會對成品的質量造成損害，因此加工過程必須在一個殘余壓力水平極低的真空環境內進行。如果這些加工過程涉及運動控制，則必須用到真空兼容型光柵系統。

雷尼紹超高真空 (UHV) 兼容光柵系列中的所有產品都經過專門設計，用于各種科研、半導體和其他高級工業應用場合，真空壓力達10-10 Torr。其基本工作原理與我們的同類標準大氣壓下的產品相同，但是UHV光柵在設計上消除了氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成。產品在UHV環境下的適用性已獲得獨立的專業檢驗機構鑒定，包括殘留氣體分析 (RGA) 光譜測試（可應要求提供）。

RESOLUTE?光柵系列

RESOLUTE系列是一款真正意義的絕對式、精細柵距光柵系統。它具有極強的抗污能力，其超凡的技術指標更是位置反饋領域的一大新突破。它是世界上第一款能夠在100 m/s的速度下實現1 nm分辨率（直線光柵系統），在36,000轉/分的速度下實現32位分辨率（圓光柵系統）的絕對式光柵。超低電子細分誤差 (SDE) 和抖動使該直線光柵系統從同類光柵中脫穎而出。

此外，其還具有三個特定應用型號：

? RESOLUTE UHV（超高真空）為低至10-10 Torr的超高真空應用提供絕對式光柵技術，幫助客戶提高生產效率，降低損壞風險，并增強可靠性。

? RESOLUTE ETR（寬溫度范圍）是一款真正意義的絕對式、精細柵距光柵系統，可以在溫度極高和極低的環境下工作。

? RESOLUTE FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認證，可用于功能安全應用。

RESOLUTE可配用選裝的高級診斷工具ADTa-100和ADT View軟件：可提供實時光柵數據反饋，輔助光柵安裝和現場查錯。

TONiC?光柵系列

TONiC系列是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統，速度可達10 m/s，與Ti接口配套使用時，在線性和旋轉應用中分辨率達1 nm。由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進行校準，因此TONiC系統的安裝快捷簡單。TONiC光柵的動態信號處理功能可提高信號穩定性，而且電子細分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實現卓越的運動控制性能。

此外，其還具有兩個特定應用型號：

TONiC UHV將增量式光柵技術引入低至10-10 Torr的超高真空應用中，這類應用要求在緊湊的外形中保持高性能。

TONiC FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認證，可用于功能安全應用。