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SPI 6200銀漿測厚儀
SPI 6200銀漿測厚儀測量原理
傳統的方法是用機械破壞式測量,或激光單點或單截面測量隨機變化大重復精度低。該儀器用激光非接觸掃描密集取樣獲取物體表面形狀,然后自動識別和分析漿料區域并計算高度、面積和體積,更利于全面掌握漿料厚度或電性能。
SPI 6200銀漿測厚儀技術參數
型號 |
SPI 6200 |
量程 |
2.5~125 um |
可測量目標 |
銀漿、膠水、金屬、油墨、陶瓷、半導體等相對厚度(透明和半透明材質需提供實際樣品確認) |
自動對焦范圍 |
0.05mm |
手動對焦功能 |
支持 |
掃描速度(最高) |
1.6平方mm/秒 |
掃描幀率 |
200幀/秒 |
掃描步距 |
2.5um |
掃描寬度 |
3.2mm |
高度重復精度 |
0. 3um |
體積重復精度 |
0.9% |
最大裝夾基材尺寸 |
330 x 670mm (470 x 670mm可選,更大可定制) |
XY平臺大小 |
400 x 530mm (更大可定制) |
基材厚度 |
0.01~ >10 mm(薄基材可放置在托板上) |
允許被測物高度 |
50 mm(上20mm,下30mm) |
高度分辨率 |
0.014 um (= 14nm = 0.000014mm) |
基材平面修正 |
多點參照修正傾斜和扭曲/目標周圍平均修正 |
參照差異厚度補償 |
支持 |
影像采集系統像素 |
約400萬有效像素(彩色) |
視場(FOV) |
3.2 x 2.6 mm |
掃描光源 |
650nm 紅激光 |
背景光源 |
紅、綠、藍(三原色)漫射照明,LED光源 |
影像傳輸 |
高速數字傳輸 |
3D模式 |
色階、網格、等高線模擬圖,任意角度旋轉,比例和視野均可縮放,XYZ三維刻度 |
測量模式 |
手動定位自動掃描識別、手動截面分析 |
測量結果 |
3D:平均厚度、最高、最低、面積、體積、長、寬、目標數量等,主要結果可導出至Excel文件 |
截面分析 |
截面模擬圖和報告,某點高度、平均高度、最高、最低、截面積,支持正交截和斜截 |
2D平面測量 |
圓、橢圓直徑面積,方、矩形長寬面積,直線距離等 |
SPC統計功能 |
平均值、最大值、最小值、極差、標準差、CP、k、CPK等。Xbar-R均值極差控制圖(帶超標警告區),直方圖,可以按厚度、厚度比、面積比、體積比統計,規格可獨立設置 |
制程優化分類統計 |
可按照生產線、操作員、班次、印刷機、印刷方向、印刷速度、脫網速度、刮刀壓力、清潔頻率、材料型號、材料批號、解凍攪拌參數、鋼網、刮刀、拼板、位置名稱、有鉛/無鉛及自定義注釋分類統計,方便探索最佳參數組合 |
條碼或編號追溯 |
支持(條碼掃描器另配) |
編程速度 |
基本無需編程,僅設置幾項參數 |
電腦配置要求
|
Windows XP,雙核1.6G以上CPU,1G以上內存,3D圖形加速,PCI插槽,USB口,19吋寬屏液晶 |
SPI 6200銀漿測厚儀基本功能
a.漿料厚度測量,平均值、最高最低點結果記錄
b.面積、體積測量,XY長寬測量
c.截面分析: 高度、最高點、截面積、距離測量
d.2D測量:距離、矩形、圓、橢圓、長寬、面積等測量
e.自動識別選框內目標
f.幾乎不用編程,統計分析報表生成及打印,制程優化
SPI 6200銀漿測厚儀特色
1、自動識別目標
a.自動掃描選擇區自動識別選框內所有目標。每次掃描可測量多達數千個目標
b.掃描自動適應基板顏色和反光度,自動修正基板傾斜扭曲
2、高精度
a.測量時樣品不動,避免了震動和空氣對樣品的影響;
b.分辨率提高到納米級,有效分辨率14nm(0.014um);
c.高重復精度(0.3um),人為誤差小;
d. 數字影像傳輸:抗干擾,自動糾錯,準確度高;
e.高分辨率圖像采集:有效像素高達彩色400萬像素;
f. 高取樣密度:每平方毫米上萬點;
g. 顏色無關和亮度無關的掃描算法,抗干擾能力強,環境光影響降低;
h.多點基板扭曲修正功能:不但可以修正傾斜,還可以修正扭曲變形;
i.參照補償功能:消除參照不一致造成的差異;
k.低震動運動系統,高剛性石質底座平臺和滾柱導軌;
3、高速度
a.高速圖像采集:高達200幀/秒(掃描3.2x2.6mm,1.6平方mm區域僅需5.6秒)
4、高靈活性和適應性
a.大板測量:可裝夾基材尺寸達330x670mm,更大可定制
b.厚板測量:高達50mm,裝夾上面20mm,裝夾下面最高30mm
c.大目標測量:至少可測量3x2.5mm的線寬
d.三原色照明:各種顏色的基材均可測量檢查
e.快速調整裝夾:軌道寬度快速調整
f.快速轉換程序:自動記錄最近程序,一鍵切換適合多生產線共享
g.快速更換基板:直接裝夾基板速度快
5、3D效果真實
a.彩色梯度高度標示,高度比可調
b.3D圖全方位旋轉、平移、縮放
c.3D顯示區域平移和縮放
d.3D刻度和網格、等高線多種樣式
6、易編程、易使用、易維護
a.編程容易,僅需設置幾項選項參數
b.任意位置視場半自動測量功能
c.模組化設計,維護保養容易
d.激光器掃描完成后自動關閉,壽命延長
7、統計分析功能強大
a.Xbar-R均值極差控制圖、分布概率直方圖、平均值、標準差、CPK等常用統計參數
b.按被測產品獨立統計,可追溯性品質管理,可記錄產品條碼或編號,由此追蹤到該編號產品當時的印刷、材料、鋼網、刮刀等幾乎所有制程工藝參數。數據可以按厚度統計,規格可獨立設置
c.制程優化分類統計,可根據不同印刷參數比如刮刀壓力、速度、脫網速度、清潔頻率等,不同材料,不同鋼網,不同刮刀進行條件分類統計,且條件可以多選。可方便地根據不同的統計結果尋找最穩定的制程參數配置
d.截面分析功能強大:點高度、截面區域平均高度、最高高度、距離、截面積,0度90度正交截,45度135度 斜截功能可滿足45度分布的目標分析。截面分析圖可形成完整報告打印
8、其它
a.自動存盤功能;
b.密碼保護功能;
c.用戶校準功能.