山東濰坊青州全功能微控擴散系統(tǒng)山東濰坊高密高溫?zé)Y(jié)爐馬弗爐
山東濰坊青州全功能微控擴散系統(tǒng)山東濰坊高密高溫?zé)Y(jié)爐馬弗爐
產(chǎn)品價格:¥1(人民幣)
  • 規(guī)格:L65614-64J/RZQ
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    商品詳情
             空熱處理設(shè)備:青島奧博儀表真空高壓氣淬爐、真空油氣淬火爐、真空高溫釬焊爐、真空鋁釬焊爐、立式真空熱處理爐、真空高溫?zé)釅簾Y(jié)爐、真空高溫?zé)Y(jié)爐、高溫真空感應(yīng)燒結(jié)爐、真空正壓退火爐、真空正壓回火爐 山東濰坊青州全功能微控擴散系統(tǒng)山東濰坊高密高溫?zé)Y(jié)爐馬弗爐
      L65614-64J/RZQ全功能微控擴散系統(tǒng)

       

      該系統(tǒng)是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要設(shè)備。

      1、系統(tǒng)組成:a)擴散爐主機  b)推拉舟及層流凈化臺  c)氣源柜  d)排毒柜  e)微機控制柜

      2、擴散爐管數(shù):14/

      3、爐管內(nèi)徑:φ90㎜×240mm

      4、恒溫區(qū)長度:≤600mm±1(300800  600mm±0.5(8001250

      5、單點穩(wěn)定性:±1/24h(300800    ±0.5/24h(8001250

      6、氣源路數(shù):≤6

      7、氣源控制:MFC或浮子流量計

      8、推拉舟行程:1500mm

      9、推拉舟速度范圍及精度:(11000)± 3mm/min

      10、推拉舟位置控制精度:≤3mm

      11、冷卻方式:水冷+風(fēng)冷

      12、微控部分采用STD總線功能模板

          a)CPU板:8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件

          b)信號調(diào)理板:完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉(zhuǎn)換

          c)人機界面板:接收鍵入信息管理,并配置9液晶顯示

          d)推拉舟接口板:輸出推拉舟速度值,完成舟位置檢測,輸出推拉舟的運動指令

          e)MFC接口板:輸出MFC設(shè)定值,將MFC的流量信息采入計算機

          f)可控硅控制及形狀量輸出板:完成與可控硅觸發(fā)及開關(guān)量放大驅(qū)動器接口等功能

          g)鍵盤:采用標準鍵盤或?qū)S眯℃I盤

          h)電源板(非STD總線板)

          i)可控硅觸發(fā)板:完成可控硅的過零觸發(fā)或移相觸發(fā)驅(qū)動(STD總線板)

          j)開關(guān)量驅(qū)動板:完成由STD總線板的數(shù)字信號(TTL電平)的轉(zhuǎn)換、放大,用于驅(qū)動氣路閥(非總線板)

          k)推拉舟驅(qū)動部分:接收總線板輸出的推拉舟速狀態(tài)指令,并將位置轉(zhuǎn)換成標準信號輸出,有手動自動轉(zhuǎn)換

      13、微機控制特點:

          a)工藝溫度段數(shù):114段,可選段運行

          b)單段時間范圍:11080分鐘/斜變段    19999分鐘/恒溫段

          c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值               d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值

          e)PID參數(shù),溫度修正量可在線修改                      f)溫度設(shè)定單位:℃   分辨率:0.1

          g)工藝段時間設(shè)定單位:min,分辨率:1min                h)各類工藝數(shù)據(jù)斷電后長期保存

          i)工藝氣體流量,推拉舟運動狀態(tài)由微機實行閉環(huán)控制  j)中文顯示各類提示信息

      k)各類輸入信息采用填表方式完成,條例清楚,邏輯合理

      工業(yè)電爐有電阻爐、雙工位立式真空燒結(jié)爐 、立式真空燒結(jié)爐、單、雙管臥式真空燒結(jié)爐、鏈(帶)式燒結(jié)爐、臺車電爐、井式電爐、箱式電爐、退火電爐、回火電爐、淬火電爐、氣體氮化電爐、氣體滲碳電爐、鹽浴爐、硝鹽爐等等
      向用戶提供各行業(yè)用工業(yè)爐,各爐型有:真空退火爐、真空回火爐、真空脫羥爐、真空燒結(jié)爐、真空釬焊爐、真空自耗爐、真空凝殼爐、真空排氣爐等,燒氫爐(最高溫度2400度)
    在線詢盤/留言
  • 0571-87774297  
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