aerotech ANT130XY雙軸XY納米定位級(jí)平臺(tái)
我們的超精密ANT130XY載物臺(tái)采用集成的雙軸設(shè)計(jì)，可提供卓越的平面性能和出色的幾何特性。ANT130XY載物臺(tái)配備剛性、抗蠕變交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)最平穩(wěn)、最精確的運(yùn)動(dòng)，并通過超高精度2D校準(zhǔn)進(jìn)一步增強(qiáng)，以優(yōu)化最苛刻的檢測(cè)和制造工藝。此外，動(dòng)態(tài)優(yōu)化的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)令人印象深刻的速度和工藝吞吐量。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)
增強(qiáng)的第二代設(shè)計(jì)
實(shí)現(xiàn)最小增量運(yùn)動(dòng)至 0.5 nm - 新
通過集成的 XY 設(shè)計(jì)優(yōu)化正交性、直線度和平整度
通過 ULTRA 校準(zhǔn)選件保證 ±225 nm 或更高的二維精度
采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動(dòng)態(tài)性能和充足的負(fù)載能力
通過無鐵芯直驅(qū)直線電機(jī)最大限度地提高過程吞吐量和可靠性

主要應(yīng)用
ANT130XY非常適合需要高精度和動(dòng)態(tài)定位性能的多軸應(yīng)用，包括：

光子學(xué)組裝和檢查
光纖對(duì)準(zhǔn)和優(yōu)化
光學(xué)制造、測(cè)試和檢驗(yàn)
傳感器測(cè)試和認(rèn)證
半導(dǎo)體加工和檢測(cè)
表面計(jì)量和剖面測(cè)量
研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用
超精密載物臺(tái)設(shè)計(jì)
ANT130XY的集成雙軸設(shè)計(jì)允許您優(yōu)化關(guān)鍵的幾何元素，如正交性，直線度和平整度，從而產(chǎn)生具有出色運(yùn)動(dòng)特性的載物臺(tái)。我們的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)沒有滯后或間隙，可在 X 和 Y 尺寸上實(shí)現(xiàn)精確且可重復(fù)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。ANT130XY 提供三種行程選項(xiàng)，范圍從 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的緊湊總高度。