.jpg "OSAKA磁懸浮軸承型復合分子泵TG-M系列大阪分子泵")
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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 驅動方式 | 電動 | ||
| 吸氣口法蘭 | VG250 ISO-B250 | ||
| 排氣速度N2 (L/s) | 2400 | ||
| 排氣速度H2 (L/s) | 1100 | ||
| zui大壓縮比N2 | 1×10E8 | ||
| zui大壓縮比H2 | 1.4×10E3 | ||
| 啟動時間 | 4~5min | ||
| 停止時間 | 4~5min | ||
| 安裝角度 | 任意 | ||
| 重量 | 45kg | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | TG2400M | ||
OSAKA分子泵?大阪分子泵
磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列
使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品
該系列產品型號：
TG397M、TG427M、TG907M、TG1307M、TG390M、TG420M
TG900M、TG1300M、TG2400M、TG-MU、TG-ML、TG-MI
TG2400M渦輪分子泵
?全方位安裝
輕巧設計
節(jié)能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
產品應用：
?半導體制造
?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)
技術參數：
| 吸氣口法蘭 | VG250 ISO-B250 | |
| 排氣速度 | N2?(L/s) | 2400 |
| N2(附加金屬保護網) (L/s) | 2300 | |
| H2?(L/s) | 1100 | |
| zui大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1.4×103 | |
| 極限壓力 | VG?ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6?/ <7.5×10-9? |
| zui大氣體流量※1 | N2?(sccm) | 3000 |
| 啟動時間 | (min)? | 4~5 |
| 停止時間 | (min) | 4~5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧500 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | (kg)?? | 45 |
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