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所有R5系列真空泵具有下列之共同特性:
1. 設計精密.結構堅固.重量輕.易于安裝及維護.
2.空氣冷卻（氣冷式）
.3.值結式驅動,可避免轉動皮帶及齒輪之松弛或損耗.
4.含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.
5.進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統,避免真空油逆流.
6.低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦.
7.運轉聲音小
.8.具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.
9.具氣體壓載閥，可適用于大量蒸氣之制程。即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口完全排出,
而不會在泵浦內發生凝結現象.
