（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。
低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵
按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。
粗真空系
主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。
是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。
無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中。
滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
旋片式真空泵
真空泵
真空泵 (2張)
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
性能參數
參數名稱 參數定義
真空泵的極限壓強 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。
真空泵的抽氣速率 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。
真空泵的前級壓強 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
真空泵的最大前級壓強 真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
真空泵的最大工作壓強 真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
真空泵的何氏系數 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
真空泵的返流率 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。
水蒸氣允許量 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在