轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導(dǎo)軌中滑動，而泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
c.定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
d.余擺線式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
e.多室旋片式真空泵：在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?br /> ③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?br /> ④羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩�機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＞唧w可分為下述幾種類型。
（1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
③ 復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。
（2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種：
① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵
（3） 擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為：
① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵
② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。
（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。
（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。
吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
（1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵
按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。
粗真空系
主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單，使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點。
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。
是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結(jié)晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。
無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實現(xiàn)了先進(jìn)的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當(dāng)抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優(yōu)點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
旋片式真空泵
真空泵
真空泵 (2張)
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫�須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
性能參數(shù)
參數(shù)名稱 參數(shù)定義
真空泵的極限壓強 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強。
真空泵的抽氣速率 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試 驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。
真空泵的前級壓強 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
真空泵的最大前級壓強 真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
真空泵的最大工作壓強 真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應(yīng)最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
真空泵的何氏系數(shù) 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數(shù) 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
真空泵的返流率 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
水蒸氣允許量 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
最大允許水蒸氣入口壓強 最大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。
壓強范圍
真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
術(shù)語解釋
真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度單位
通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托
平均自由程
作無規(guī)則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號：（Atm）。
極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣，再經(jīng)12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）
冷阱（水冷擋板）
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
氣鎮(zhèn)閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。
真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。
真空蒸鍍
在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。
真空系統(tǒng)常用名稱
①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
應(yīng)用情況
液環(huán)泵 雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。 
液環(huán)泵工作原理
液環(huán)泵工作原理
滑閥泵 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。 
滑閥泵工作原理
滑閥泵工作原理

　　
直聯(lián)旋片泵 隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。 
旋片真空泵
旋片真空泵
羅茨泵 
從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。
國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
羅茨泵工作原理
羅茨泵工作原理
分子泵 
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

　　
干泵 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。 
　　
水環(huán)泵 
水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。
如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

　　
綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?br /> 水環(huán)泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優(yōu)點
結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。
結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。
由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。
水環(huán)泵也有其缺點：
效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。
真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。
總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
測量方式
測量方式
　　 定義
熱偶真空計 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。
電離真空計 由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
復(fù)合真空計 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。
冷陰極電離計 陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強的真空計。
電阻真空計 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
麥克勞真空計 也成為壓縮式真空計，將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
電容薄膜真空計 這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規(guī)管綜合在個小型經(jīng)濟的規(guī)管中，測量過程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計由于具有測量精度高、動態(tài)響應(yīng)快、測量結(jié)果與氣體成分無關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點，因而越來越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計、油壓計、電阻真空計、熱偶真空計以至部分地取代電離計。
選型
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最佳配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述各點：
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
s=2.303（v/t）lg(p1/p2)
其中：
s為真空泵抽氣速率(l/s)
v為真空室容積(l)
t為達(dá)到要求真空度所需時間(s)
p1為初始容器內(nèi)氣壓
p2為抽氣后容器內(nèi)氣壓
影響因素
它是決議產(chǎn)品的大小,抽氣量請求愈高,產(chǎn)品體積相對愈大,所需配用的電機功率亦會愈高。
它是決議產(chǎn)品采用何種構(gòu)造,真空度是有表壓及絕對壓力這兩種讀數(shù)。絕對壓力表示讀數(shù)是絕對值，即讀數(shù)愈靠近‘0\'，真空度愈高。但反觀表壓，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的絕對壓力（極限真空）是靠近‘0\'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。
維護(hù)保養(yǎng)
真空泵的好壞決定于其機械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。
因此使用真空泵時必須注意下列幾點：
在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。
蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機溶劑的蒸氣。
如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。
減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類：
(1)一般水泵，壓強可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。
(2)油泵，壓強可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。
(3)擴散泵，壓強可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。
若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
在有機化學(xué)實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種，若不要求很低的壓力時，可用水泵，如果水泵的構(gòu)造好且水壓又高，抽空效率可達(dá)1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的最低壓力理論上相當(dāng)于當(dāng)時水溫下的水蒸氣壓力。例如，水溫25℃、20℃、10℃時，水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時，應(yīng)在水泵前裝上安全瓶，以防水壓下降，水流倒吸；停止抽氣前，應(yīng)先放氣，然后關(guān)水泵。
潤滑油
在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。
這是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。
真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
電機溫度高
某公司的300MW機組，每臺機組配備2臺機械真空泵，其中1臺運行，1臺備用。真空泵用于機組啟動時抽真空，正常運行時用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。該泵配備電機160kW，轉(zhuǎn)速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級絕緣，正常運行時電流220～230A。每年夏季，電機溫度都會超限，被迫加裝臨時冷卻風(fēng)機，但收效不大。電機長期高溫運行會造成絕緣老化，縮短其使用壽命。對真空泵電機溫度高的原因分析如下。
原因分析
(1)電機功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。
(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。
(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。
(4)電動機附有灰塵、油污，降低了散熱能力。
(5)真空泵電機所在母線電壓為380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運行電流大。
對策
電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機主軸上，電機轉(zhuǎn)速決定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。
(1)將原風(fēng)扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機，軸流風(fēng)機電機功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機與主電機不設(shè)連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風(fēng)機運行，真空泵停運后30min停運軸流風(fēng)機，以使主電機得到充分冷卻;
(2)定期清除電機上灰塵，保持電機散熱片清潔，增加其散熱能力;
(3)將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。
效果
(1)由于軸流風(fēng)機轉(zhuǎn)速高，風(fēng)壓風(fēng)量大，冷卻效果大大增強，在相同的環(huán)境溫度、負(fù)荷電流下，主電機溫度下降了12℃。夏季主電機溫度未再超限。
(2)軸流風(fēng)機可人為控制，主電機停運后，軸流風(fēng)機仍可運行，可以使主電機得到充分冷卻。
(3)盡量使2段母線負(fù)荷分配平衡，以防某段母線因負(fù)荷過重造成電壓下降過多。
(4)電壓調(diào)整后，真空泵運行電流降為210A，發(fā)熱量相對減小。
(5)減緩了主電機的絕緣老化速度，延長了其使用壽命。
泵軸軸承位磨損
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真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題，其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位，傳統(tǒng)方法以補焊和刷鍍噴涂為主，但兩者均存在一定弊端：補焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除，易造成材質(zhì)損傷，導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂；而電刷鍍受涂層厚度限制，容易剝落，且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬，無法改變“硬對硬”的配合關(guān)系，在各力綜合作用下，仍會造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對以上問題多使用高分子復(fù)合材料的修復(fù)方法，而應(yīng)用較多的有美國美嘉華技術(shù)體系，其具有超強的粘著力，優(yōu)異的抗壓強度等綜合性能。應(yīng)用高分子材料修復(fù)，可免拆卸，免機加工。既無補焊熱應(yīng)力影響，修復(fù)厚度也不受限制，同時產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性，可吸收設(shè)備的沖擊震動，避免再次磨損的可能，并大大延長設(shè)備部件的使用壽命，為企業(yè)節(jié)省大量的停機時間，創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟價值。
腐蝕
高分子復(fù)合材料修復(fù)真空泵腐蝕
高分子復(fù)合材料修復(fù)真空泵腐蝕
真空泵腐蝕的形態(tài)可分為全面（均勻）腐蝕和局部腐蝕兩大類，前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面，后者只是發(fā)生在局部，如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。采用高分子復(fù)合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐，其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能，與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補相比，具有施工簡便、成本低、安全性能，修復(fù)效果好的特點。
殼體裂紋破裂
高分子復(fù)合材料修復(fù)殼體裂紋
高分子復(fù)合材料修復(fù)殼體裂紋
真空泵因鑄造、加工缺陷，內(nèi)應(yīng)力及超負(fù)荷運行等原因經(jīng)常導(dǎo)致部件出現(xiàn)裂紋或斷裂現(xiàn)象。常規(guī)的修復(fù)方法是采用焊接，但有的零件材質(zhì)是鑄鐵、鋁合金、鈦合金，難以做焊接處理。還有一些易于發(fā)生爆炸的危險場合，更不易采用焊接修復(fù)方法。美嘉華技術(shù)是一種“冷焊”技術(shù)，可以避免熱應(yīng)力變形，同時材料良好的附著力和抗壓、抗腐蝕等綜合性能，可以最大限度地滿足各種設(shè)備部件的使用要求，從而在最低成本的投入下有效保證生產(chǎn)。安全、方便、可靠。
冒煙和噴油
1.冒煙，如果是泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。渦街流量計
　　2.噴油，說明進(jìn)氣口外有大量的漏點，甚至是進(jìn)氣口暴露大氣。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點;排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥。
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2 結(jié)構(gòu)特點
3 機械選擇
4 分類
5 性能參數(shù)
6 術(shù)語解釋
7 應(yīng)用情況
8 測量方式
9 選型
10 維護(hù)保養(yǎng)
10.1 潤滑油
10.2 電機溫度高
10.3 泵軸軸承位磨損
10.4 腐蝕
10.5 殼體裂紋破裂
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