③ 復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。
（2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種：
① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵
（3） 擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為：
① 自凈化擴(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵
② 分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
（4） 擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。
（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。
吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
（1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵
按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。
粗真空系
主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單，使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。
是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結(jié)晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。
無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實(shí)現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可單獨(dú)使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵的前級(jí)泵的使用。當(dāng)抽吸對(duì)黑色金屬有腐蝕、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時(shí)，需附加裝置。優(yōu)點(diǎn)：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價(jià)格相對(duì)高一點(diǎn)。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
旋片式真空泵
真空泵
真空泵 (2張)
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫�須有前�?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵，需要用前級(jí)泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
性能參數(shù)
參數(shù)名稱 參數(shù)定義
真空泵的極限壓強(qiáng) 泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
真空泵的抽氣速率 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試 驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩 流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng) 真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用 時(shí)的壓強(qiáng)。
真空泵的前級(jí)壓強(qiáng) 真空泵的前級(jí)壓強(qiáng) 單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng) 低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
真空泵的最大前級(jí)壓強(qiáng) 真空泵口最大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級(jí)壓強(qiáng)。
真空泵的最大工作壓強(qiáng) 真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對(duì)應(yīng)最大抽氣量 的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比 壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
真空泵的何氏系數(shù) 泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速 與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數(shù) 泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
真空泵的返流率 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
水蒸氣允許量 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 單位是Pa。它是指 在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。
壓強(qiáng)范圍
真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍（Pa） 起動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
術(shù)語解釋
真空的定義
真空