商鋪名稱：北京匯方圓科技有限公司
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化學式：ZnO：Al2O3 簡稱AZO靶材
1.靶材技術指標：
純 度：3-4 N
主要成分：ZnO：Al2O3= 98:2 [可根據用戶要求調整Al2O3摻雜比 (0-4) wt%]
相對密度：d≥ 98%
理論密度：ρ= 5.6 g•cm-3
實際密度：ρ≥ 5.5 g•cm-3
致密性均一：從橫斷面看無白點或大顆粒
2.鍍膜性能：
方塊電阻：膜厚900 nm左右時，方阻≤ 10Ω/□
電 阻 率：ρ≤ 9×10-4 Ω•cm
可見光透過率：T≥ 80%
靶材尺寸：圓形：直徑25mm-300mm 厚度2-15mm
矩形：小于280*200*15mm，超出范圍可以拼接
