本設備設計由國內多年從事半導體生產的專家指導，采用國際先進的生產加工工藝，在超凈廠房組裝測試，有可靠的質量保障。設備由不銹鋼骨架，外包10mm厚瓷白PP板，潔凈美觀，耐腐蝕。電控面板置于機臺上方，設備的各項工藝參數以及動作可以通過各控制儀表的輸入輸出，可以通過操作盤按鈕直接設置和操作，界面中有程序過程控制、數據記錄、故障報警、安全保護等功能，各工作位過程完成提前提示報警，并有防蝕保護，具有嚴格的安全防護措置。主要用于6、8英寸硅片的清洗工藝。