催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。有機廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產生二氧化碳和水。

催化燃燒設備生物脫臭法是指利用微生物的代謝活動降解惡臭物質，使之氧化為產物，從而達到無臭化、無害化的目的。催化燃燒設備常用的方法有生物過濾池法、生物吸收法、生物滴濾池法和生物制劑法。當除臭要求高且被處理的惡臭氣體成份復雜難以用單一方法去除時，可采用復合脫臭法，將各種方法組合成有效的除臭裝置。