氣浮轉(zhuǎn)臺及其音圈直線電機氣浮平臺

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音圈直線電機氣浮平臺是采用氣浮導(dǎo)軌，并可以穩(wěn)定地高精度地運行， 這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的壓力空氣來實現(xiàn)的，泄壓的縫隙極小，保證了轉(zhuǎn)動軸的懸浮。高速度，高精確度；無摩擦力；無磨損；不需要潤滑油；有卓越的速度控制性能；無噪音。正因為氣浮轉(zhuǎn)臺有這么多的優(yōu)點，現(xiàn)在越來越多高精度的應(yīng)用領(lǐng)域用空氣軸承來取代普通的機械軸承。
產(chǎn)品特點
1) 結(jié)構(gòu)簡單（精巧）2) 回轉(zhuǎn)輕巧3) 運轉(zhuǎn)平滑4) 精密度高
5) 摩擦損耗小6) 無污染7) 壽命長8) 清潔
應(yīng)用領(lǐng)域
1) 精密計量：圓度、垂直度、平面度、同心度、圓柱度的計量
2) 空間模擬裝置3) 三坐標儀4) 低速伺服轉(zhuǎn)臺5) 精密儀器軸承：圓度儀、摩擦力矩儀等6) 高速砂輪軸軸承7) 精密機床軸承8) 光學(xué)測試

在超精密氣浮定位平臺研究工作中,對靜壓空氣軸承的安裝位置對系統(tǒng)影響的研究相對較少,本公司研制了一種新型機械結(jié)構(gòu)的音圈直線電機氣浮導(dǎo)軌性能測試實驗臺,實驗臺導(dǎo)軌滑架采用焊接框架組合結(jié)構(gòu),實現(xiàn)不同類型氣浮軸承的更換及不同數(shù)量的氣浮軸承的安裝,形成不同結(jié)構(gòu)布局的氣浮導(dǎo)軌,能夠滿足多種氣浮導(dǎo)軌的實驗研究,提高了氣浮導(dǎo)軌實驗臺的利用率和使用范圍。此實驗臺具有機械精度高、系統(tǒng)剛度大、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,安裝使用方便等特點。建立了雙邊直線電機驅(qū)動的H型氣浮精密定位平臺,對該精密定位系統(tǒng)的氣浮導(dǎo)軌設(shè)計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關(guān)鍵技術(shù)進行了研究。利用有限元法設(shè)計了氣浮導(dǎo)軌,分析了氣膜壓力場的分布情況,采用預(yù)加載技術(shù)提高氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性實驗表明,開發(fā)的定位平臺氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度,X、Y導(dǎo)軌的豎直方向靜剛度為XXX N/μm和XXXN/μm。設(shè)計了基于同步速度偏差的改進型并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器,采用模糊控制實現(xiàn)PID參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運動實驗表明,改進的控制器具有較高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,適合于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、精度高的優(yōu)點,可以用于光刻機和光學(xué)檢測等精密工程領(lǐng)域。

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