近日，由中科院長春光機所承擔的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)的研制”順利通過驗收。這標志著我國大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)已達到國際水平，結(jié)束了我國在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。

　　衍射光柵（以下簡稱光柵）是一種具有納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學元件。它作為核心色散單元器件，在光譜學、天文學、激光器、光通訊等諸多領(lǐng)域中具有重要應用價值。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng)，精度高可獲得更好的信噪比，但同時將光柵“做大”和“做精”屬于世界性難題。我國戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴格限制。隨著科學技術(shù)的發(fā)展，大面積高精度中階梯光柵已經(jīng)成為制約我國相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展的“短板”，此類光柵研制也是各光柵強國之間展開競爭的焦點。

　　2008年，在中國科學院和財政部共同支持下，長春光機所開始“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)”的研制工作，目標為研制一臺刻劃面積屬世界之最、技術(shù)水平達國際領(lǐng)先的大型高精度衍射光柵刻劃機，突破精密機械加工、精密光學加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并研制出面積達400毫米×500毫米的中階梯光柵。

　　光柵刻劃機是制作光柵的母機，因部件的加工裝調(diào)精度之難、運行保障環(huán)境要求之高，被譽為“精密機械之王”。本項目研制的光柵刻劃機，幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界“極限”水平。研制期間，項目組突破了一系列核心高精度零件的加工制造技術(shù)。

　　經(jīng)過8年艱苦攻關(guān)，項目組共攻克18項關(guān)鍵技術(shù)，取得9項創(chuàng)新性成果，研制出一套大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)，并成功研制出面積達400毫米×500毫米的世界上面積最大的中階梯光柵，我國幾代“光柵人”終于圓夢。

　　該成果填補國內(nèi)空白，也標志著我國大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)已達到國際水平。驗收評審專家對該項目取得的成果給予了充分肯定，認為“光柵刻劃系統(tǒng)和光柵都達到了項目實施方案的技術(shù)指標”，一致同意項目通過驗收。

　　大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)以及大面積中階梯光柵的研制成功，不僅打破了我國大型光學系統(tǒng)、遠程探測與識別等大科學裝置以及國家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受制于人的局面，而且能促進我國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”局面，幫助我國光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀、提升拓展國際市場的能力。