KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 制備 NGZO 薄膜
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2021-03-12 15:15:19  訪問次數(shù):166

    上海某大學(xué)實驗室采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 , 通入氬氣和氮氣, 在流量比分別為 25/10、25/20、25/25、25/30 ((mL/min)/(mL/min))條件下制備 NGZO 薄膜.

     

    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

    型號

    RFICP140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    實驗室通過 XRD 和 SEM 對薄膜的物相結(jié)構(gòu)和表面形貌進行分析,通過紫外可見分光光度計和霍爾效應(yīng)測試儀對薄膜透過率和載流子濃度、遷移率及薄膜電阻率進行研究.

     

    實驗結(jié)果:

    通過與未摻入 N 的 Ga 摻雜氧化鋅 (GZO) 薄膜相比, 在可見光區(qū), 尤其是 600~800 nm 范圍內(nèi), NGZO 薄膜平均透過率在80%以上,符合透明導(dǎo)電薄膜透過率的要求.

    在 N-Ga 共摻雜薄膜中, N 的摻雜主要占據(jù) O 空位, 并吸引空位周圍的電子, 這減小了薄膜晶格畸變, 并產(chǎn)生電子空穴, 最終使得薄膜中電子載流子濃度降低, 空穴載流子濃度增加, 電阻率有所增加.

    隨著氮氣流量的變化, 發(fā)現(xiàn)在 25 mL/min 時, 薄膜具有zui佳的綜合性能. 這種薄膜可用于紫外光探測器等需較大電阻率的應(yīng)用中, 并有望實現(xiàn) n-p 型轉(zhuǎn)化. 

     

    KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

     

    KRI 離子源是領(lǐng)域公認的, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

     

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