KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 用于濺射沉積硅片金屬薄膜
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2021-01-13 16:05:50  訪問次數(shù):101

    某微電子制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射沉積硅片金屬薄膜.

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

    離子源型號

    RFICP220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦,  平行,  散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    可選燈絲中和器可變長度的增量

    KRI 射頻離子源 RFICP 220

    磁控濺射法制備鋁膜是微電子工藝制備金屬薄膜最常用的工藝之一然而在使用磁控濺射設(shè)備制備鋁膜時(shí)往往會(huì)發(fā)現(xiàn)調(diào)用同一個(gè)工藝菜單制備出的鋁膜厚度會(huì)有所不同相差接近40%. 這對于制備高精度膜厚的鋁膜具有嚴(yán)重的影響.

     

    KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.

     

    因此為了提高硅片金屬薄膜的均勻性,該制造才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計(jì),  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國HVA 真空閥門,  美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī),  美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的代理商.

     

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