Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸氣能力 產(chǎn)品描述 使用集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 OBC 或外部 Magpower 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備運(yùn)行 用于在所有情況下的安裝 水冷 帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn) 加熱版本（MT）可用于腐蝕性應(yīng)用 ATH 1600 MT，DN 200 CF-F，外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，水冷，加熱 訂單號(hào): P6522103 Holweck 級(jí) 5 軸磁懸浮渦輪泵適合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸氣能力 法蘭 DN 200 CF-F 適用于超高真空時(shí)要求嚴(yán)苛的應(yīng)用 使用外部Magpower 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備運(yùn)行 用于在所有情況下的安裝 水冷，加熱 帶有CE標(biāo)志且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn) 技術(shù)參數(shù) Ar 的壓縮比 > 1 · 108 Ar 的抽速 1280 l/s Ar 的最大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s Ar 的氣體流量 20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s H2 的壓縮比 > 5 · 102 H2 的抽速 540 l/s H2 的最大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s H2 的氣體流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s He 的壓縮比 > 4 · 103 He 的抽速 940 l/s He 的氣體流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s I/O 接口 通過(guò)外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 N2 的壓縮比 > 1 · 108 N2 的抽速 1360 l/s N2 的最大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s N2 的最大預(yù)真空 2.2 百帕 N2 的氣體流量 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s 不帶氣鎮(zhèn)的最終壓力 < 6 · 10-9 百帕 允許冷卻水的溫度 15 – 25 °C 攝氏度 冷卻水消耗最小值 60 l/h 冷卻水耗量 60 l/h 冷卻類(lèi)型 水 冷卻類(lèi)型，標(biāo)準(zhǔn) 水 分離的驅(qū)動(dòng)電氣設(shè)備 是 聲壓水平 ≤48 dB(A) 分貝 (A) 安裝方向 任何 工作電壓 200 – 240 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC 方位 配有磁軸承 最終壓力 < 6 · 10-9 百帕 最終壓力時(shí)的功率消耗 300 瓦 電子驅(qū)動(dòng)單元 外部驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 耗電量 max. 650 瓦 腐蝕性氣體的版本 是 轉(zhuǎn)速 ?± 2 % 39,000 rpm | 39,000 min-1 運(yùn)行時(shí)間 1 · 108 Ar 的抽速 1280 l/s Ar 的最大轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量，75 °C 的被加熱的泵 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s