TSM-D210氣體質(zhì)量流量計 TSM-D210氣體質(zhì)量流量計 TSM-D210氣體質(zhì)量流量計
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MKP質(zhì)量流量控制器應(yīng)用非常廣泛，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：
1.半導體制造
在半導體生產(chǎn)過程中，需要對氣體流量進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。布魯克斯質(zhì)量流量控制器可以在各種工藝步驟中實現(xiàn)高精度的氣體流量控制，包括沉積、刻蝕、清洗等。其在線自動校準功能可以消除溫度和壓力變化對測量的影響，從而提高了制造過程的控制精度和穩(wěn)定性。
2.醫(yī)療器械
在醫(yī)療設(shè)備中，需要使用氣體流量控制來實現(xiàn)吸入氧氣、麻醉劑等治療和監(jiān)護任務(wù)。BROOKS流量控制器能夠提供高精度的氣體流量控制，確保給藥量的準確性和一致性。此外，布魯克斯質(zhì)量流量控制器還可以進行在線自動校準，消除溫度和濕度變化對測量的影響，從而提高了醫(yī)療設(shè)備的安全性和可靠性。
特點：
實時確認流量和動作的狀態(tài)；
響應(yīng)速度快和高準確度；
對外部影響的穩(wěn)定性強化 ；
可用在使用環(huán)境惡劣的大型船舶 (高溫, 震動, 鹽分, 噪音等)
TSM-D200流量控制器
TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D260
性能參數(shù)：
流量控制范圍： 2 ~ 100% of Full Scal
準確度： ≤± 2.0% of Full Scale
響應(yīng)速度： ≤ 3.0 sec
控制閥門: Normally Closed / Normally open
輸出入信號: 模擬型：0 ~ 5VDC 或 4 ~ 20mA
電源: +15VDC ~ +24VDC
操作溫度: 5 ~ 50℃ (推薦溫度范圍：15 ~ 35℃)
預熱時間: 15分鐘 (準確度保證：30分鐘)
| 產(chǎn)品配置 | |
|---|---|
| 流量范圍(N2 標準) | 5ccm~1.5slm |
| 流量控制范圍 | 滿量程的2 ~ 100% |
| 準確度 | 滿量程的≤ ± 1% |
| 回應(yīng)時間 | ≤ 1 sec |
| 線性 | 滿量程的≤ ± 0.2% |
| 運轉(zhuǎn)原理 | 熱式 |
| 控制閥形式 | - |
| 密封種類 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 輸入輸出信號 | 模擬性: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA / 數(shù)字型: RS-485 (D-NET 可能) |
| 電源供應(yīng) | +15VDC or +24VDC |
| 運轉(zhuǎn)溫度 | 5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃) |
| 連接器 | D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 可能) |
| 防爆 | 無相關(guān)內(nèi)容 |
| 顯示器 | 應(yīng)用(Option) |
| 重量 | 0.7kg |
Sccm、slm是顯示標準氣體流量(mL/min，L/min，at 0'C101.3kPa)的符號。
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