瑞士INFICON的MPG400冷陰極和皮拉尼復合真空計有MPG400和MPG402個型號,測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓)。將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,***降低了安裝,設置和集成的復雜性。
MPG400冷陰極和皮拉尼復合真空計典型應用:
■高真空壓強監測
■蒸發和濺射系統的壓強測量
■一般真空測量和控制,從中至高真空范圍
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