廣州潽拓光電科技有限公司維修Edwards STP-A1603CV英國愛德華磁懸浮分子泵，Edwards  STP-A1603CV愛德華磁懸浮分子泵進氣法蘭口ISO200F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到1600 L/s，轉速為36500 rpm，極限壓力10-7Pa，愛德華 Edwards STP-A1603CV磁懸浮分子泵對應的控制器為：Edwards SCU-750。