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Ulvac 愛發(fā)科UTM-3303FHA渦輪分子泵維修

發(fā)布者：putuovac 發(fā)布時間：2022-12-01 16:04:15 訪問次數(shù)：103

Ulvac UTM-3303FHA渦輪分子泵維修，Ulvac 磁懸浮泵保養(yǎng)

ULVAC采用五軸磁浮軸承和數(shù)字控制的復合翼型渦輪分子泵。

UTM-FH、UTM-FW采用數(shù)字控制五軸磁浮軸承，實現(xiàn)了***、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。FH系列是高背壓·高壓縮型，提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝，F(xiàn)W系列是廣域·大流量型，用于高負荷工藝和中間·硬工藝。

來源：廣州潽拓光電科技有限公司

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