Agilent Torr-304FS安捷倫渦輪分子泵維修，Agilent Torr-304FS安捷倫渦輪進氣法蘭口CFF6/ISO100，出氣法蘭口KF16/KF25，抽速可達到250 L/s，轉速為60000rpm，極限壓力 <1X10-10 mbar (1X10-10 Torr)，安捷倫Torr-304FS分子泵對應的控制器為：Agilent  Torr-304FS-AG。