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維修Edwards愛德華STP-iXA 2206分子泵功能與優(yōu)勢

發(fā)布者：putuovac 發(fā)布時間：2022-08-19 15:46:41 訪問次數(shù)：73

用途

· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

· 電子回旋共振(ECR)刻蝕

· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 濺射

· 離子注入源，射束線泵送和站

功能與優(yōu)勢

· 緊湊型設計，包括完全集成的控制器

· 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)

· 數(shù)字化5軸控制

· 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了50%

· 可以配置為運行腐蝕性制程

來源：廣州潽拓光電科技有限公司

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